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(noticias nanowerk) Nanosurf, un proveedor líder de dispositivos de medición de microscopios de fuerza atómica (AFM) de última generación, ofrece soluciones de medición de AFM totalmente automatizadas y compatibles con salas blancas para la industria de semiconductores. Al proporcionar soluciones de medición para el control de calidad, Nanosurf realiza una importante contribución al progreso de la industria de los semiconductores. A través de una amplia experiencia en proyectos importantes, hemos perfeccionado nuestra experiencia y nos hemos centrado especialmente en las siguientes áreas clave.
Retos y soluciones de diseño
Los dispositivos AFM de Nanosurf son adecuados para muestras grandes y no planas de hasta varios cientos de milímetros de diámetro y, al mismo tiempo, permiten una cobertura completa de la muestra. Los sistemas AFM suelen ser conocidos por registrar únicamente muestras pequeñas con un diámetro de unos pocos mm o cm. La razón principal de esto es que con un pequeño bucle mecánico, es decir, la ruta más corta a través del hardware del AFM que conecta mecánicamente la punta del brazo del AFM y la ubicación de medición real, es más fácil lograr una buena estabilidad del sistema y, por lo tanto, bajos niveles de ruido.
A diferencia de los sistemas AFM tradicionales, los sistemas que admiten muestras grandes tienen un bucle mecánico grande. Lograr el nivel de ruido (rms) requerido en la escala de PM para dichos sistemas es uno de los mayores desafíos para el equipo de ingeniería en la planificación y el diseño de sistemas. Utilizamos simulaciones del método de elementos finitos (FEM) para calcular el rendimiento del sistema, incluidas las perturbaciones mecánicas. Estos cálculos funcionan dentro de los límites físicos y requieren una estrecha colaboración con los proveedores para modelar adecuadamente sus componentes durante la fase de diseño.
Los controles y el software de las máquinas se desarrollan en paralelo con el proceso de diseño mecánico, ya que cumplir con los exigentes niveles de rendimiento y los estrictos requisitos de seguridad requiere la interacción entre el diseño mecánico y el diseño de control. Para alcanzar los niveles de rendimiento requeridos, se llevan a cabo varias rondas de evaluaciones del diseño del sistema con mejoras posteriores, así como evaluaciones de seguridad con ajustes de sensores y rutas de comunicación seguras. Durante la fase de puesta en marcha también se debe tener en cuenta la interacción real del usuario con la máquina.
Automatización y operaciones orientadas a procesos.
Los sistemas de medición industriales AFM de Nanosurf brindan una automatización completa de todo el proceso de análisis de muestras, desde la carga de muestras hasta la realización de rutinas de medición específicas de muestras y conexiones de datos a sistemas de control de fábrica. Esto también incluye el intercambio automatizado de voladizos y el reposicionamiento de muestras con una precisión de reposicionamiento submicrónica. Un controlador lógico programable (PLC) en tiempo real es esencial para garantizar la seguridad de las máquinas, las muestras y las personas, un control de movimiento óptimo y la gestión del software de adquisición de AFM.
Un aspecto importante de la interfaz PLC es que permite a los operadores que no son expertos en AFM operar la máquina sin problemas cargando secuencias operativas o «recetas» predefinidas. Se implementan varias interfaces para la operación, con un panel móvil que permite la interacción directa con la máquina mientras se está junto a la muestra y se observan los distintos pasos del proceso, mientras que la funcionalidad de acceso remoto permite la accesibilidad para fines de servicio. La automatización se desarrolla en estrecha colaboración con el cliente y sigue directamente el proceso de control de calidad calificado para este paso.
Limpieza y cumplimiento
Además de los desafíos mecánicos y de control, se deben considerar los requisitos de limpieza a lo largo de toda la cadena del proceso, incluidos el diseño, la producción, la puesta en servicio y la operación. Las máquinas de Nanosurf están construidas para cumplir con los estrictos requisitos de limpieza de la industria de semiconductores. Por supuesto, la producción se lleva a cabo en un ambiente de sala limpia que garantiza los más altos estándares de la industria.
Puesta en marcha y gestión de proyectos.
Poner en funcionamiento el sistema en tiempos de COVID fue un desafío que Nanosurf asumió de inmediato. La ropa para salas blancas resultó práctica para proteger al equipo que trabajaba directamente en la máquina, mientras que el acceso remoto redujo los viajes innecesarios y la asistencia in situ, lo que contribuyó a la salud del equipo. En la implementación exitosa de estos proyectos participan en total más de 50 personas, entre empleados de Nanosurf, el equipo del cliente, proveedores y socios externos. Esto sólo es posible mediante una planificación y coordinación cuidadosas, así como una comunicación clara con todos los involucrados.
Conozca más sobre las soluciones avanzadas de Nanosurf para aplicaciones industriales.
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